普通对具有深孔（特别是盲孔）的零件的清洗效果一般，而真空超声波则可以较好的弥补这个空缺。
真空超声波碳氢清洗机具有对金属加工油的清洗力强、兼容性好、大多数碳氢系清洗剂经过蒸馏可以再循环利用，性价比高等优点。
碳氢清洗剂的清洗原理：
简单地说是依据溶剂的溶解力进行清洗。基于对油脂或油性污染的溶解性的脱脂机理：相似相溶原则。水能与具有与水结构相似OH的化合物如R-COOH（低级脂肪酸）、R-OH（低级醇）等互溶也是基于此。
异种液体间的溶解性与表面张力、界面张力有密切关系。
两者间的界面张力值近似容易互溶。
碳氢溶剂的成分及优点：
碳氢溶剂，其主要成分是高纯度的烷烃化合物，属于环保型溶剂。产品无色透明，低粘度，极低硫含量，不含卤素，可以自然降解，逐渐成为一类重要的溶剂，可用作溶剂、分散剂、稀释剂和许多应用的载体。
碳氢清洗剂的优点有清洗性能好、蒸发损失小、 毒性极低、材料相容性好、 可彻底挥发无残迹、不破坏环境等。
碳氢清洗机一般是利用了超声波的空化作用来清洗零件，空化作用也被称之为空蚀功效，两种液体在界面迅速分散而乳化，当固体粒子被油污裹着而粘附在清洗件表面时，油被乳化、固体粒子自行脱落，超声在清洗液中传播时会产生正负交变的声压，形成射流，冲击清洗件，同时由于非线性效应会产生声流和微声流，而超声空化在固体和液体界面会产生高速的微射流，使粘附在被清洗零件表层的污染物容易摆脱掉，这就是碳氢清洗剂的超声波清洗中的空蚀的乳化作用和翻转搅拌功效。正确的挑选碳氢清洗剂机的超声清洗加工工艺能明显地提高清洗效率与结果。
真空超声波碳氢清洗机更适合对清洁度要求高的高精工零件的清洗，有微孔板、盲孔、窄缝等样形繁琐复杂的零件。因而，真空超声波碳氢清洗机备受众多电子器件、机械设备、轻工、电子光学、电镀工艺、交通、军工等领域的制造行业的亲睐。
